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產品型號：NPFLEX
產品代碼：
產品價格：
折 扣 率： 0
最后更新：2013-05-27
關 注 度：6439
生產企業：北京華躍英泰科技有限公司
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產品詳細介紹
一、 儀器特點：
1． 非接觸式光學測量方式，對樣品表面無損傷。
2． 測試時間短， 垂直方向上可達亞納米級分辨率。
3． 快速、準確測量多個樣品 ，實現高速材料表面表征。
4． 廣泛的應用領域，樣品的反射率從0.1%至100%均可測量。
5． 操作非常簡單。
6． 高分辯、高速測量、高重復性、高可靠性的完美結合
7． 功能強大、行業領先的專業分析軟件：
a) 臺階高度
b) 表面粗糙度
c) 多區域測量
d) 彎曲測量
e) 角度測量
f) 厚膜分析軟件包－適用透明、半透明厚膜厚度及膜表面粗糙度分析
g) 光學軟件包－應用于光學級表面表征
h) 數據存儲制造業軟件包－適用于硬盤部件的測量檢測
8． 可測量各種復雜形狀樣品。
二、 性能參數指標介紹：
1．工作條件：
電源：220V，1500W
環境溫度：10℃～35℃
環境濕度： 10%～85%
2． 儀器尺寸：172cm H x 77cm D x 81cm W
3． 最大樣品尺寸：H = 350mm ; D = 304mm; W = 304mm
4． 最大樣品重量：50kg
5． 垂直分辨率：<0.15nm；（可測量出亞納米級的表面結構）。
6． RMS重復性：0.03nm；（在測量超光滑平面的時候，多次測量的重復性非常好）。
7． 臺階高度測量的精度：0.5%；（對高度測量的精確度可控制在0.5%以內）。
8． 臺階高度測量的重復性：<0.12% 1σ；（對高度測量的重復性可控制在0.12%以內）。
9． 光學分辨率：0.49um；（在使用50倍物鏡的情況下，可分辨的最小尺寸為0.49um）。
10． 最大掃描速度：28.1um/s；（縱向掃描的速度可達28.1um/s）。
11． 垂直方向最大掃描范圍：10mm，全量程閉環控制，無需縫合。（縱向最大的掃描長度為10mm，并且此測量為閉環控制測量，保證了測量的準確性）。
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| 會員級別：免費會員 |
| 加入時間：2011-09-29
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