X、Y、Z軸壓電陶瓷掃描臺(tái)-納動(dòng)納米
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產(chǎn)品型號(hào)：PK3L140-100U
產(chǎn)品代碼：
產(chǎn)品價(jià)格：1000
計(jì)量單位：021-54668263
折 扣 率： 0
最后更新：2022-04-29
關(guān) 注 度：2494
生產(chǎn)企業(yè)：上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹產(chǎn)品描述
PK3L140-100U為高動(dòng)態(tài)掃描產(chǎn)品，專(zhuān)為大承載動(dòng)態(tài)應(yīng)用設(shè)計(jì)的，外形設(shè)計(jì)為超薄型，緊湊的尺寸便于安裝在顯微鏡下，可與電動(dòng)微米平臺(tái)進(jìn)行配合使用，移動(dòng)面設(shè)計(jì)為可以放置樣品、CCD相機(jī)、顯微物鏡等，便于用戶(hù)微納操作。
利用精密并聯(lián)運(yùn)動(dòng)設(shè)計(jì)通過(guò)FEA優(yōu)化的精密彎曲來(lái)確保高剛度和較長(zhǎng)的設(shè)備壽命，PK3L140-100U位移臺(tái)可提供最佳的性能。超高的剛度和動(dòng)態(tài)使用頻率，可實(shí)現(xiàn)高精度和快速的閉環(huán)響應(yīng)。
本產(chǎn)品具有亞納米性能。PK3L140-100U壓電納米臺(tái)均可提供閉環(huán)反饋（-S）或開(kāi)環(huán)（無(wú)反饋）。獨(dú)特的位置傳感器并行計(jì)量設(shè)計(jì)可測(cè)量位移輸出，直接實(shí)現(xiàn)亞納米分辨率，線(xiàn)性誤差低于0.02％的精度和重復(fù)性。
PK3L140-100U壓電平臺(tái)可定制轉(zhuǎn)接板與面包板光學(xué)平臺(tái)上進(jìn)行固定。壓電平臺(tái)可根據(jù)要求提供定制材料和真空制備版本。獨(dú)特的固定孔位設(shè)置，可對(duì)外界沖擊震動(dòng)及溫度變化不敏感，具有非常高的穩(wěn)定性能。
選配功能
—可定制轉(zhuǎn)接裝置
—可選PZT&Sensor連接器及線(xiàn)纜長(zhǎng)度
—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系
—可定制中心孔徑大小
應(yīng)用領(lǐng)域
—原子力/掃描顯微鏡
—超分辨率顯微鏡
—掩模、晶圓定位
—干涉測(cè)量、測(cè)量技術(shù)
—二維材料微納加工技術(shù) |
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| 會(huì)員級(jí)別：免費(fèi)會(huì)員 |
| 加入時(shí)間：2016-05-16
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